儀電(diàn)|上(shàng)分(fēn)_960_960
主要(yào)特點：
● 發射單色儀采用(yòng)1200 線 / mm凹面光(guāng)栅，大(dà)孔徑非球面反射鏡，靈敏度特别高(gāo)。
● 采用(yòng)150W大(dà)功率氙燈，激發能(néng)量強，産生(shēng)連續光(guāng)源。
● 采用(yòng)光(guāng)源監控技(jì)術(shù)，測量結果穩定。
● 高(gāo)性能(néng)的(de)光(guāng)電(diàn)倍增管，可(kě)獲得(de)理(lǐ)想信号噪聲比。
● 具有(yǒu)自(zì)診斷功能(néng)，工(gōng)作(zuò)可(kě)靠。
● EM帶寬小(xiǎo)于10nm。